激光干涉儀

XL-80激光系統可以產生非常穩定的激光光束，采用的波長可溯源至國家和國際標準。激光穩頻精度通過動態熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內，達到1年內精度為±0.05ppm，1小時內精度為±0.02ppm。線性測量精度在整個環境范圍內，即從0oC-40oC（32oF-104oF）和650毫巴-1150毫巴的范圍內，精度為±0.5ppm。可以高達50kHZ頻率讀取數據，最高線性測量速度可達4m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達1nm。儀。 詳細介紹>>