激光干涉儀專用平面標準鏡頭

乾曜光學提供普通精度的平面標準鏡和超精密球面標準鏡，均包含平面透射標準鏡和平面反射標準鏡。有效口徑有150mm（6英寸），100mm(4英寸），60mm，30mm。150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo通用，60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。超精密平標準鏡頭代理國外產品，精度達PV<λ/50（λ=633nm）。精度測試文件儲存為Zygo干涉儀的標準數據格式，在Zygo干涉儀的數據中能夠移除標準球面的誤差，以達到絕對測量。普通精度球面標準鏡技術參數型號有效口徑材料精度（λ=633nm）QY-150-TF152.4mm(6inches)熔石英(Corning7980)PV<λ/10QY-100-TF101.6mm(4inches)熔石英(Corning7980)PV<λ/20QY-150-RF152.4mm(6inches)熔石英(Corning7980)PV<λ/10QY-100-RF101.6mm(4inches)熔石英(Corning7980)PV<λ/20QY-60-TF60mm熔石英(Corning7980)PV<λ/20QY-30-TF30mm熔石英(Corning7980)PV<λ/20超精密球面標準鏡技術參數型號有效口徑材料精度（λ=633nm）QY-150-ATF15。 詳細介紹>>