中圖儀器激光干涉儀

中圖儀器激光干涉儀概述：中圖儀器激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態分析。中圖儀器激光干涉儀功能：激光干涉測量系統應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲杠的檢測；精密儀器中的定位檢測系統如精密機械的控制、校正；大規模集成電路專用設備和檢測儀器中的定位檢測系統；微小尺寸的測量等。中圖儀器激光干涉儀性能特點：1.測量精度高、速度快，穩定性好①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)②以光波長(633nm)為測量單。 詳細介紹>>