中圖儀器SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數控系統），機床動態特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，觸發脈沖輸入、輸出功能等。中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點：1.測量精度高、速度快，穩定性好①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變2.應用范圍廣①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測②結合我們的軟件系統，可以用于。 詳細介紹>>