智泰白光干涉儀

產品特點：1、非接觸式測量：避免物件受損。2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm---200μm。3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。6、掃描儀：采用閉環控制系統。7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。8、測量軟件：基于windows操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。應用領域：1、TFT產業2、半導體3、MEMS4、高�？蒲�5、精密加工機。 詳細介紹>>