產品特點：
1 、非接觸式測量：避免物件受損。
2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。
6 、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8 、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。
應用領域：
1、TFT產業
2、半導體
3、MEMS
4、高�？蒲�
5、精密加工
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機型
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SIS 1200
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SIS 2000
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工作臺
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尺寸
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傾斜度
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±3 °
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測量行程
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X:
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X:
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Z軸行程
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運動方式
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手動
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自動，馬達驅動
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掃描速度
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30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1 nm
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CCD
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黑白CCD， 640×480 像素
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物鏡安裝架
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手動導引五孔式
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手動 5個位移的可定位夾具
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鏡頭選配
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鏡頭：5×、10×、20×、50×
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系統參數：
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測量技術
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增強相位掃描干涉 相位移動干涉
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放大率
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2.5X
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5X
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10X
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20X
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50X
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視場 (mm)
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3.62×2.72
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1.81×1.36
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0.90×0.68
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0.45×0.34
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0.18×0.13
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橫向分辨率
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4.72μm
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2.72μm
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1.18μm
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0.88μm
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0.64μm
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控制器
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電腦
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軟件
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i2000 and SNU Map
Windows 2000環境下運行
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掃描儀
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閉環控制
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抗震工作臺
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氣動裝置
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注：聯系我時，請說是在“傲立機床網”上看到的，謝謝！
