一.產品介紹
激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀60年代末期問世的一種新型的測量設備,由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場,隨即受到了相關行業特別是機床制造業的重視,其主要在:線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高,測量軟件的不斷開發其測量范圍越來越廣泛,特別是在測量數控機床位置精度方面用途最為廣泛。
SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術,實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據,將數據通過計算機進行顯示和動態分析。
二.功能特點
1. 測量精度高:以激光干涉技術為核心,分辨率可達納米級;采用高精度環境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統,保證激光長期穩頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩定。
2. 具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?梢詸z測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。
3. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。
4. 具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等。
5. 內置各種類國標(GB)、ISO(國際)、BS(英制)、美標、DIN(德標)、JIS(日標)等機床檢驗標準?梢罁鞣N機床標準分析處理數據,并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。
6. 可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數?蛇x擇手動或自動對波長進行環境補償。
7. 測量記錄采用集中式數據庫管理,可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔。
8. 安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。


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